वैक्यूम घटक

ताप उपचार में मुख्य रूप से ऑक्सीकरण, प्रसार और एनीलिंग प्रक्रियाएं शामिल हैं।ऑक्सीकरण एक योगात्मक प्रक्रिया है जिसमें सिलिकॉन वेफर्स को उच्च तापमान वाली भट्ठी में रखा जाता है और वेफर की सतह पर सिलिका बनाने के लिए उनके साथ प्रतिक्रिया करने के लिए ऑक्सीजन जोड़ा जाता है।प्रसार आणविक तापीय गति के माध्यम से पदार्थों को उच्च सांद्रता वाले क्षेत्र से कम सांद्रता वाले क्षेत्र में ले जाना है, और प्रसार प्रक्रिया का उपयोग सिलिकॉन सब्सट्रेट में विशिष्ट डोपिंग पदार्थों को डोप करने के लिए किया जा सकता है, जिससे अर्धचालकों की चालकता बदल जाती है।